Litar bersepadu yang dibuat di permukaan cip semikonduktor juga dipanggil litar bersepadu filem nipis. Satu lagi jenis litar bersepadu filem tebal (litar bersepadu hibrid) adalah litar miniaturized terdiri daripada peranti semikonduktor bebas dan komponen pasif yang diintegrasikan ke dalam substrat atau papan litar.
Dari tahun 1949 hingga 1957, Werner Jacobi, Jeffrey Dummer, Sidney Darlington, Yasuo Tarui membangunkan Prototaip, tetapi litar bersepadu moden dicipta oleh Jack Kilby pada tahun 1958. Untuk ini, beliau memenangi Hadiah Nobel dalam Fizik pada tahun 2000, tetapi Robert Noyce, yang juga membangunkan litar bersepadu moden dan praktikal pada masa yang sama, meninggal dunia seawal tahun 1990.