ciri laser excimer
1. Keseronokan wujud dalam bentuk keadaan yang teruja, dengan jangka hayat yang singkat, hanya 10^(-8)S magnitud, dan keadaan tanah adalah 10^(-13)S magnitud. Peralihan berlaku dalam keadaan rendah teruja dan keadaan tanah repulsive (atau (lemah terikat), spektrum fluorescence adalah band berterusan.
2. Oleh kerana spektrum fluorescence adalah band berterusan, ia boleh merealisasikan operasi terowong panjang gelombang.
3. Oleh kerana penceraian pesat ion di peringkat tenaga yang lebih rendah (keadaan tanah) peralihan laser, tahap tenaga yang lebih rendah laser pada dasarnya kosong, dan mudah untuk mencapai penyongsangan penduduk, jadi kecekapan kuantum sangat tinggi, hampir 100%, dan ia boleh beroperasi pada frekuensi pengulangan yang tinggi. .
4. Panjang gelombang laser output terutamanya dalam ultraviolet kepada julat cahaya yang kelihatan, dengan panjang gelombang pendek, frekuensi tinggi, tenaga besar, tempat fokal kecil, dan resolusi pemprosesan yang tinggi, yang lebih sesuai untuk pemprosesan laser berkualiti tinggi.